臭氧发生器一般由空气中的氧气或氧气瓶中的纯氧为原料气体。
以瓶装氧气或小型制氧机为气源的臭氧发生器，称为氧气源的臭氧发生器。
以空气为气源的臭氧发生器称为空气源臭氧发生器。
两种臭氧发生器的配置和结构基本相同，但同样功率和大小的臭氧发生器氧气源的发生器比空气源的臭氧发生器臭氧发生量大。
有人认为空气源的臭氧发生器在设备价格和运行成本方面比氧气源的臭氧发生器优越。这是误解。其实同样发生量的臭氧发生器空气源的价格远比氧气源的高。只有当需要的发生量很大（大于100g/h，甚至150g/h以上）的臭氧发生器。用氧气钢瓶既麻烦又运行费用高时才考虑用氧气源的臭氧发生器。而50g/h以下的臭氧发生器用氧气源的更经济、合算。如果换氧气钢瓶不方便,也可选用带制氧机的臭氧发生器。
事实上，空气源的臭氧发生器的空气，并不是一般的压缩空气就可以用，而是要对空气进行压缩、过滤、冷干、吸干等多种处理后才能使用。如果不经过处理，仅用压缩空气为气源，臭氧发生量会很小。（参考第一章第四节）其中最关键的问题是空气中含有大量的水分，这对臭氧的产生极为不利。而且臭氧发生量随环境温度湿度的变化很大。只有在要求很低的领域才可以应用不经处理的空气源臭氧发生器。
有的臭氧生产企业，以不经过深度干燥处理的空气源臭氧发生器有每小时几十克的臭氧发生量是误导。
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